Vedci kombináciou 3D holografickej litografie a 2D fotolitografie vytvorili 3D mikrobatériu integrovateľnú do čipu pre mikroelektronické zariadenia. Mikrobatérie môžu dodávať energiu na skutočnom mieste spotreby energie a umožnia miniaturizáciu elektronických zariadení, ako aj zvýšenie ich výkonnosti.
„Táto 3D mikrobatéria ponúka výnimočný výkon a škálovateľnosť a myslíme si, že bude mať význam v mnohých oblastiach aplikovania,“ povedal Paul Brown, profesor vedy o materiáloch na Illinoiskej univerzite v meste Urbana-Champaign.
Mikrozariadenia obyčajne využívajú napájanie mimo čipu pre problémy s miniaturizáciou technológií na uchovávanie energie. Maličká vysokoenergetická a vysokovýkonná batéria na čipe by bola veľmi žiaduca pre rôzne zariadenia, ako sú distribuované bezdrôtové senzory a vysielače, monitory či prenosné a implantovateľné zdravotnícke pomôcky.
S postupným zmenšovaním snímačov, bezdrôtových komunikačných zariadení, systémov na monitorovanie zdravia a autonómnych mikroelektromechanických systémov rastie dopyt po miniaturizovaných integrovaných energetických zdrojoch.
Hoci tenkovrstvové batérie sú vhodné na integráciu na čip, ich energia a výkon na jednotku plochy sú obmedzené. Trojrozmerné elektródové konštrukcie majú potenciál ponúknuť oveľa viac výkonu a energie na jednotku plochy. No predchádzajúce snahy viedli k prototypom 3D mikrobatérií s pevnými elektródami, a teda s nízkym výkonom.
Nová 3D mikrobatéria je vyrobená kombináciou 3D holografickej litografie s konvenčnou fotolitografiou, čo umožňuje priestorové rozmiestnenie elektród na podklade. Takto vytvorená mikrobatéria vykázala pôsobivý výkon – špičkový prúd 500 μA z batérie s hrúbkou 10 μm a plochou 4 mm2(200 cyklov pri 12 % úbytku kapacity).
Vďaka 3D holografickej technike vzorovania, v ktorej niekoľko optických lúčov interferuje vnútri fotorezistentnej látky, sa vytvára žiaduca 3D štruktúra, batéria má pravidelne štruktúrované porézne elektródy, čo uľahčuje rýchly prenos elektrónov a iónov v batérii, ktorá ponúka výkon podobný superkondenzátoru.
Vedci z Illinoiskej univerzity vytvorili účinnú metódu výroby, ktorá je kompatibilná so súčasnými výrobnými technológiami v oblasti mikroelektroniky.
Zdroj:itnews.sk